Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

  • 2007.06a
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  • Pages.63-64
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  • 2007
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  • 2005-8446(pISSN)
Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)
권호 표지

A Fast Algorithm of White light Scanning Interferometry(WSI) for a Semiconductor Defect Inspection

반도체 불량 검사를 위한 백색광 간섭계의 고속화

  • 이두길 (선문대학교 제어계측공학과) ;
  • 고국원 (선문대학교 제어계측공학과)
  • Published : 2007.06.20
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Abstract

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