Abstract

A Spectroscopic Ellipsorneter(SE) is fabricated. The PSA configuration of the rotating analyzer type where the effects of the imperfect optical elements can be minimized is adopted. The straight through operation shows that the standard deviations of tan$\psi$ and cos$\Delta$ are less than 0.2% in the spectral range of 300nm-850nm. From the film data of ellipsometric spectra the bulk dispersion relation of a few fluorides and the void distribution inside the fluoride thin films are obtained.

회전검광자형의 분광타원해석기를 제작하였다. 각 부품의 미소결함에 의한 오차를 고려하여 이들이 타원해석상수들에 미치는 영향을 최소로 하는 배치를 결정하였다. Straight through operation의 성능평가 결과 300nm~850nm의 파장대역에 걸쳐 tan$\psi$와 cos$\Delta$의 편차는 0.2%내외로 만족할 만한 것으로 판단되었다. SE를 사용하여 불화박막의 굴절율및 void분포상태를 측정하였고 응용성에 관하여 논의하였다.

Keywords