Characteristics of the Ceramic Filter Using $0.05Pb(Al_{2/3}W_{1/3})O_3-0.95Pb(Zr_{0.52}Ti_{0.48}O_3$Ceramic System

$0.05Pb(Al_{2/3}W_{1/3})O_3-0.95Pb(Zr_{0.52}Ti_{0.48})O_3$계를 이용한 세라믹 필터 특성

  • 김남진 (고려대학교 재료공학과) ;
  • 윤석진 (한국과학기술연구원) ;
  • 유광수 (한국과학기술연구원 재료연구단) ;
  • 김현재 (한국과학기술연구원 재료연구단) ;
  • 정형진 (한국과학기술연구원 재료연구단)
  • Published : 1992.04.01

Abstract

Piezoceramic filters were fabricated by adding $MnO_2 and FeZ0_3$ to the $0.05Pb(Al_{2/3}W_{1/3})O_3-0.95Pb(Zr_{0.52}Ti0.48)O_3$ system using photolithography method. As the amounts of $MnO_2$ increased, the electro-mechanical coupling factor(Kp) decresed. On the other hand, for $Fe_2O_3$ added samples, Kp was 57%, but mechanical quality factor(Qm) showed relatively low value. The passband widths were 155kHz for 0.3wt % $MnO_2$ addition and 260kHz for 0.1 wt % $Fe_2O_3$ addition, and were inversely propotional to Qm values. Group delay time characteristics showed Gausian for $MnO_2$ additions and Butterworth for$Fe_2O_3$ additions.

$0.05Pb(Al_{2/3}W_{1/3})O_3-0.95Pb(Zr_{0.52}Ti0.48)O_3$를 기본 조성으로 $MnO_2,Fe_2O_3$를 첨가제로 하여 사진식각법(Photolithography)을 이용 세라믹 필터를 제작하였다. $MnO_2$의 첨가량이 증가함에 따라 전기 기계 결합 계수(Kp)가 낮아지며, $Fe_2O_3$의 경우 Kp값은 57% 정도로 우수하나 기계적 품질 계수(Qm)는 $MnO_2$첨가의 경우에 비해 상대적으로 낮은 값을 보여주고 있다. $MnO_2$0.3wt% 첨가의 경우 3dB 대역폭은 155kHz, $ Fe_2O_3$0.1wt%인 경우 260kHz로써 Qmr값이 크기에 반비례하였으며, 군지연시간 특성은 $MnO_2$의 경우 Gaussian 특성을,$Fe_2O_3$의 경우 Butterworth 특성을 나타내었다.

Keywords