Abstract

A getter pump test system is being developed as a core item of the national project for establishing the foundation of the vacuum technology in our country. A preliminary test system was prepared for developing the getter test procedure, and providing design requirements and system specifications before setting up the getter pump test system. The pumping speed and the pumping capacity of getter elements of low activation temperature used in the seal-off vacuum devices, for the hydrogen, carbon monoxide and nitrogen gases, were measured using the preliminary test system. The pumping characteristics of a domestic getter, developed mainly for the gas purifier, were compared with those of a foreign getter used widely in the lamp factories.

국내 진공기술 기반을 구축하는 국가사업의 일환으로 게터펌프 성능평가장치를 개발하고 있다. 본격적으로 장치를 구성하기 전에 평가절차의 개발, 장치 설계요건 및 사양을 확정하기 위해 예비실험장치를 만들었다. 이 장치를 이용하여 밀봉형 기기에 들어가는 비교적 활성화 온도가 낮은 게터 소자들의 특성평가 절차를 만들고 이를 적용하여 수소, 일산화탄소, 질소 등에 대해 배기속도와 배기용량을 측정해 보았다. 주로 고순도 기체 공급장치용으로 국내에서 개발된 게터 소자와 램프용으로 널리 쓰이는 외국제품의 배기성능을 비교해 보았다.

Keywords

• getter;
• performance test;
• pumping speed;
• pumping capacity

• 게터;
• 성능평가;
• 배기속도;
• 배기용량;