Journal of the Korean Vacuum Society (한국진공학회지)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Study on a Real Time Quantitative Diagnostic Technique for Measuring CVD Precursors

CVD 공정의 전구체 잔존량 실시간 진단방법 연구

  • Yun Ju-Young (Vacuum Center, Korea Research Institute of Standards and Science) ;
  • Shin Yong-Hyoen (Vacuum Center, Korea Research Institute of Standards and Science) ;
  • Chung Kwang-Hwa (Vacuum Center, Korea Research Institute of Standards and Science)
  • 윤주영 (한국표준과학연구원 진공센터) ;
  • 신용현 (한국표준과학연구원 진공센터) ;
  • 정광화 (한국표준과학연구원 진공센터)
  • Published : 2005.09.01
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Abstract

This study proposes an accurate method of monitoring precursor consumption in chemical vapor deposition (CVD) systems. Since precursor costs are significant, finding an efficient method to monitor precursor consumption is necessary One example is the use of non-contact and inexpensive ultrasonic sensors for determining the liquid level in a container. In this study, sensors based on ultrasonic techniques have been developed for monitoring the precursor consumption in a CVD system. Moreover, the prototype sensors developed in this study can be useful in the field of semiconductors.

본 연구는 화학증착(Chemical Vapor Deposition, CVD) 시스템에서 전구체 소모량을 모니터링 하기 위한 방법이다. 전구체는 가격이 매우 비싸기 때문에 이를 모니터링 하기 위한 효과적인 방법이 요구된다. 하나의 예로서 용기내 수위진단을 할 수 있는 초음파 센서를 들 수 있는데 이는 비접촉식이고 가격이 저렴한 유리한 점이있다 본 연구에서는, CVD 시스템에서의 전구체 소모량 모니터링을 위한 초음파 진단기술 개발에 관해 연구한다. 또한 반도체 생산라인에 적용이 가능한 실제 진단장치를 개발, 적용한다.

Keywords

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