Abstract
Automatic transfer equipments of manufacturing and process line trend toward big size as LCD glass is big size, heavy weight. The conventional stocker uses rotational motor and mechanical power converter device as travel axis of stocker crane and then frequent maintenances by complex structure and mechanical friction are required. Also it has problem to minimize the particle generation. To solve these problems, this paper verified the performance of permanent magnet(PM) excited transverse flux linear motor(TFLM) that is big power density per unit volume applied for travel axis of 7 generation stocker that is being big size, high power, long distance by the experiment based on proposed control algorithm, controller and power converter device.
LCD 원판이 세대별로 대형, 중량화됨에 따라 제조, 공정라인의 자동 반송장비도 대형화 되어 가고 있는 추세다. 기존 스토커는 크레인의 주행축에 회전형 전동기와 기계적 동력변환 장치를 사용하고 있어, 복잡한 구조와 기계적 마찰에 의한 잦은 유지, 보수가 필요하게 되고 파티클 발생을 최소화 시켜야 하는 문제점을 안고 있다. 이런 문제점들을 해결하기 위해, 본 논문에서는 단위면적당 추력이 큰 영구자석 여자 횡자속 선형전동기를 적용하고 제안된 제어 알고리즘 및 제어기, 전력변환장치를 제작해서 대형, 고출력, 장거리화 되고 있는 7세대 스토커의 주행축에 실험, 검증하였다.
