Journal of the Korean Vacuum Society (한국진공학회지)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
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Optimizing Cleaning Period of Oxide Etcher Using Optical Emission Spectroscopy

광방출 분석법을 이용한 산화물 식각 장비의 세정 주기 최적화

  • Son, Gil-Su (School of Information & Communication Engineering, Sungkyunkwan University) ;
  • Roh, Yong-Han (School of Information & Communication Engineering, Sungkyunkwan University) ;
  • Yeom, Geun-Young (School of Advanced Materials Science & Engineering, Sungkyunkwan University) ;
  • Kim, Su-Hong (Menufacturing Tech. Center, Samsung Electronics Co. Ltd.) ;
  • Kim, Myoung-Woon (Menufacturing Tech. Center, Samsung Electronics Co. Ltd.) ;
  • Cho, Hyung-Chul (Menufacturing Tech. Center, Samsung Electronics Co. Ltd.)
  • 손길수 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
  • 노용한 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
  • 염근영 (성균관대학교 신소재공학부) ;
  • 김수홍 (삼성전자 생산기술연구소) ;
  • 김명운 (삼성전자 생산기술연구소) ;
  • 조형철 (삼성전자 생산기술연구소)
  • Received : 2011.07.20
  • Accepted : 2011.10.26
  • Published : 2011.11.30
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Abstract

In this paper, the relationship of chamber contamination and the intensity change of specific wavelength was investigated. "diff_CO" formula was introduced to rule out background noise caused by external conditions and to detect when the polymer is removed from the chamber. As RF time increased, diff_CO trend showed the decrease of the maximum peak and increased number of small intensity peaks. From the diff_CO change, it was possible to determine when the chamber needs to be cleaned without opening the chamber.

이 논문에서 광방출 분석법을 응용하여 반응용기 내부 오염과 특정 파장 크기변화의 관계를 알아보았다. 광방출 분석법을 이용하면 $O_2$ 플라즈마에서 폴리머가 제거되는 것이 관찰된다. 하지만 광방출 분석법은 외부영향에 의한 노이즈로 분석이 힘들며 다양한 조건에서의 폴리머 제거 상태를 비교하는 건 쉽지 않다. 이를 해결하고자 diff_CO 함수를 정의하고, 여러 경우에서의 diff_CO 함수 변화를 확인하였다. diff_CO 함수는 RF 인가시간이 증가함에 따라 최대값의 크기 감소와 작은 꼭지점 개수의 증가를 관찰할 수 있으며, 이를 이용하면 반응용기를 열지 않고도 반응용기 내부 오염정도를 파악하여 반응용기 세정 시점을 정할 수 있었다.

Keywords

References

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