논문 상세

RF 스퍼터링 공정을 이용한 나노구조체 기반 MoS2 박막 증착 연구

출판일
20241130
ISSN
(P)1225-1070 / (E)2508-4046
수록정보
권 6호 331 ~ 336쪽
식별자 정보
DOI10.12656/jksht.2024.37.6.331

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1 Chisung Ahn - 한국생산기술연구원 주문형생산연구부문