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논문 상세

설명가능한 인공지능 (X-AI)을 이용한 N2 혼합 CF4/O2 플라즈마에서의 SiO2 및 Si3N4 식각 시 주요 파장 분석

출판일
20241231
ISSN
(P)1738-2270 / (E)
수록정보
권 4호 89 ~ 94쪽
식별자 정보
이전

논문 저자

No 이름 이메일 기관
1 Jeong Eun Jeon - 명지대학교 반도체공학과
2 Ji Min Park - 명지대학교 전자공학과
3 Ji Woo Huh - 명지대학교 전기공학과
4 Ji Su Park - 명지대학교 반도체공학과
5 Sang Jeen Hong - 명지대학교 반도체공학과