극저온 전자 온도 플라즈마 소스를 활용한 SiO2/SiNX ALE 공정 개발 연구
| No | 이름 | 이메일 | 기관 |
|---|---|---|---|
| 1 | Bumsoo On | - | (주)아이씨디 반도체사업부 |
| 2 | Gaeun Kim | - | (주)아이씨디 반도체사업부 |
| 3 | Eunseong Yu | - | (주)아이씨디 반도체사업부 |
| 4 | Ji woon Kwon | - | (주)아이씨디 반도체사업부 |
| 5 | Sengmin Lee | - | (주)아이씨디 반도체사업부 |
| 6 | Seungik Jung | - | (주)아이씨디 반도체사업부 |
| 7 | Taeho Shin | - | (주)아이씨디 반도체사업부 |