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논문 상세

ALD 장비의 Al2O3 공정 안정화를 위한 By-product 성분 분석 및 형성 최소화 방법

출판일
20241231
ISSN
(P)1738-2270 / (E)
수록정보
권 4호 135 ~ 140쪽
식별자 정보
이전

논문 저자

No 이름 이메일 기관
1 Won Woo Lee - 가천대학교 반도체공학과
2 Yongmin Jeon - 가천대학교 반도체공학과
3 Eou-Sik Cho - 가천대학교 전자공학과
4 Sang Jik Kwon - 가천대학교 전자공학과