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논문 상세

V2O5 박막의 Cl2/Ar 유도결합 플라즈마 식각

출판일
20241231
ISSN
(P)1225-1429 / (E)2234-5078
수록정보
권 6호 245 ~ 249쪽
식별자 정보
DOI10.6111/JKCGCT.2024.34.6.245
KCIART003152915
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논문 저자

No 이름 이메일 기관
1 Byoung Su Choi - 부산대학교 나노융합기술학과
2 Sungu Hwang - 부산대학교 나노메카트로닉스공학과
3 Jin Kon Kim - 부산대학교 나노메카트로닉스공학과
4 Hyun Cho - 부산대학교 나노메카트로닉스공학과