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논문 상세

펨토초 레이저 버스트 모드를 활용한 비아홀 내벽의 레이저 유도 주기적 표면 구조 제어

출판일
20241230
ISSN
(P)1226-9360 / (E)2287-7525
수록정보
권 4호 47 ~ 56쪽
식별자 정보
DOI10.6117/kmeps.2024.31.4.047
KCIART003158925
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논문 저자

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1 Taesik Kim - 한국생산기술연구원 첨단반도체패키징집적센터
2 Jiyong Park - 한국생산기술연구원 첨단반도체패키징집적센터