논문 상세

펨토초 레이저의 싱글 모드 및 버스트 모드에 따른 Through Glass Via 가공 형상 및 기계적 특성에 대한 비교 분석

출판일
20241230
ISSN
(P)1226-9360 / (E)2287-7525
수록정보
권 4호 76 ~ 82쪽
식별자 정보
DOI10.6117/kmeps.2024.31.4.076
KCIART003158940