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펨토초 레이저의 싱글 모드 및 버스트 모드에 따른 Through Glass Via 가공 형상 및 기계적 특성에 대한 비교 분석
출판일
20241230
ISSN
(P)1226-9360 / (E)2287-7525
수록정보
권 4호 76 ~ 82쪽
식별자 정보
DOI
10.6117/kmeps.2024.31.4.076
KCI
ART003158940
이전
논문 저자
No
이름
이메일
기관
1
Jaebeom Lee
-
한국생산기술연구원 첨단반도체패키징집적센터
2
Jiyong Park
-
한국생산기술연구원 첨단반도체패키징집적센터