논문 상세

정전척 히터 패턴 설계를 위한 인자 별 온도 균일도 영향

출판일
20241230
ISSN
(P)1226-9360 / (E)2287-7525
수록정보
권 4호 89 ~ 95쪽
식별자 정보
DOI10.6117/kmeps.2024.31.4.089
KCIART003158948

논문 저자

No 이름 이메일 기관
1 Sang-Hoon Kim - 명지대학교 기계공학과
2 Sang-Hyeon Park - 명지대학교 기계공학과
3 Hee-Jun Shin - 명지대학교 기계공학과
4 Jeong-Woo Park - 명지대학교 기계공학과
5 Jungwoo Yoon - 명지대학교 기계공학과
6 Kyoung-Jun Seo - 명지대학교 기계공학과
7 Dong Hyeok Im - 동탄이엔지(주)
8 Yong-Seok Lee - 명지대학교 기계공학과