논문 상세

광학 근접 보정 기술을 위한 다양한 위상 최적설계 방법의 비교

출판일
20241231
ISSN
(P)1229-3059 / (E)2287-2302
수록정보
권 6호 417 ~ 423쪽

논문 저자

No 이름 이메일 기관
1 Young Hun Choi - 한양대학교 융합기계공학과
2 Sol Ji Han - 한양대학교 융합기계공학과
3 Jae Yeop Na - 한양대학교 융합기계공학과
4 Gil Ho Yoon - 한양대학교 기계공학부