Korea PID 종합링킹 시스템

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논문 상세

시간 영역 통계 기반 웨이퍼 이송 로봇의 고장 진단

출판일
20240731
ISSN
(P)2384-0358 / (E)2384-0366
수록정보
권 4호 663 ~ 668쪽
식별자 정보
DOI10.17703/JCCT.2024.10.4.663
KCIART003104083
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논문 저자

No 이름 이메일 기관
1 Hyejin Kim - (주)나인벨
2 Subin Hong - (주)나인벨
3 Youngdae Lee - (주)나인벨
4 Arum Park - 서울사이버대학교