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논문 상세

Hydride vapor phase epitaxy에 의한 후막 AlN 단결정의 성장 거동에 관한 연구

출판일
20240831
ISSN
(P)1225-1429 / (E)2234-5078
수록정보
권 4호 139 ~ 142쪽
식별자 정보
DOI10.6111/JKCGCT.2024.34.4.139
KCIART003109118
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논문 저자

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1 Seung-min Kang - 한서대학교 디자인공학융합학과