Korea PID 종합링킹 시스템

search

논문 상세

펄스 주파수 및 듀티 사이클이 중간 주파수 마그네트론 스퍼터법으로 증착된 ZrN 코팅막의 미세구조, 잔류응력 및 기계적 특성에 미치는 영향

출판일
20240831
ISSN
(P)1225-8024 / (E)2288-8403
수록정보
권 4호 348 ~ 354쪽
식별자 정보
DOI10.5695/JSSE.2024.57.4.348
KCIART003116757
이전

논문 저자

No 이름 이메일 기관
1 Sung-Yong Chun - 목포대학교 첨단재료공학과