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논문 상세

Monte Carlo 모델을 이용한 웨이퍼 상 오염입자의 세정효율 예측

출판일
20240930
ISSN
(P)1738-8716 / (E)2287-8130
수록정보
권 3호 103 ~ 114쪽
식별자 정보
DOI10.11629/jpaar.2024.20.3.103
KCIART003125011
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논문 저자

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1 Seungwook Lee - 부산대학교 기계공학부
2 Donggeun Lee - 부산대학교 기계공학부