논문 상세

반도체 패키징 공정에서 발생하는 실리콘 슬러지의 재활용을 통한 Si@SiO2 제조 및 에폭시 몰딩 컴파운드로의 응용

출판일
20240930
ISSN
(P)1225-6498 / (E)2508-3015
수록정보
권 3호 57 ~ 66쪽