Korea PID 종합링킹 시스템

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논문 상세

a-IGZO 박막 트랜지스터의 전기적 성능 개선을 위한 동시 저온 플라즈마 어닐링 공정

출판일
20241101
ISSN
(P)1226-7945 / (E)2288-3258
수록정보
권 6호 630 ~ 636쪽
식별자 정보
DOI10.4313/JKEM.2024.37.6.8
KCIART003131139
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논문 저자

No 이름 이메일 기관
1 Jung Hun Choi - 충북대학교 전자정보대학
2 Jae-Yun Lee - 충북대학교 전자정보대학
3 Beom Gu Lee - 충북대학교 전자정보대학
4 Jung Moo Seo - 충북대학교 전자정보대학
5 Sung-Jin Kim - 충북대학교 전자정보대학