논문 상세

반응소결 알루미나 공정 (RBAO)을 이용한 반도체 후공정용 뮬라이트(3Al2O3·2SiO2) 세라믹스 접합

출판일
20240930
ISSN
(P)1738-2270 / (E)
수록정보
권 3호 96 ~ 101쪽
식별자 정보

논문 저자

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1 Tae-Gyeong Kim - 국립금오공과대학교 신소재공학부
2 Hyun-Kwuon Lee - 국립금오공과대학교 신소재공학부