Korea PID 종합링킹 시스템

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논문 상세

대향 타겟형 스퍼터링 시스템으로 제작한 Al-Co(Al-N)/AlN-Co 다층 박막의 구조 및 전기적 특성

출판일
20241027
ISSN
(P)1225-0562 / (E)2287-7258
수록정보
권 10호 506 ~ 514쪽
식별자 정보
DOI10.3740/MRSK.2024.34.10.506
KCIART003131270
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논문 저자

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1 Chang-Suk Han - 호서대학교 자동차ICT공학과
2 Chang-Hwan Bae - 호서대학교 정보통신공학과