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이온주입공정용 플라즈마 발생장치의 현재와 미래

출판일
20260430
ISSN
(P)1975-3667 / (E)
수록정보
권 2호 10 ~ 20쪽
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논문 저자

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1 - 고려대학교 세종캠퍼스 지능형반도체공학과